Shenyang Starlight Advanced Ceramics levererar framgångsrikt 8-tums trepelars kiselkarbidbåtar för bearbetning av halvledarskivor

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., en ledande tillverkare av kiselkarbidprodukter med över 30 års branscherfarenhet, har nyligen uppnått en betydande milstolpe genom att framgångsrikt utveckla och leverera specialiserade 8-tums kiselkarbidbåtar med tre stolpar för värmebehandling av halvledarskivor.

Genombrott inom waferbearbetningsteknik

Den nyutvecklade 8-tumsskärmenkiselkarbidTrepelarbåtar representerar ett stort framsteg inom waferhanteringsteknik, speciellt utformade för:

• Högtemperaturbearbetning av 200 mm halvledarskivor

• Jämn värmefördelning under kritiska tillverkningssteg

• Minskade kontamineringsrisker i renrumsmiljöer

Teknisk överlägsenhet

Dessa precisionskonstruerade båtar har:

• Ultrahög renhetkiselkarbidmaterial (99,99 % renhet)

• Optimerad trepolsdesign för minimal kontakt med skivor

• Exceptionell termisk chockbeständighet (tål snabba temperaturförändringar upp till 1 400 °C)

• Överlägsen kemisk inertitet mot korrosiva processgaser

Möta branschens krav

"Vår 8-tumskiselkarbidTrepelarbåtar tillgodoser halvledarindustrins växande behov av tillförlitliga, högpresterande waferbärare, säger Dr. Li, teknisk chef. De erbjuder betydande fördelar jämfört med traditionella kvartsbärare, inklusive längre livslängd och bättre termisk stabilitet.

Rigorös utvecklingsprocess

Produktutvecklingen innebar:

• 18 månader av intensiv forskning och utveckling

• Samarbete med ledande halvledartillverkare

• Över 200 termiska cykeltester

• Strikta åtgärder för att kontrollera partikelföroreningar

Kvalitetssäkring

Varje enhet genomgår:

• Verifiering av dimensionell noggrannhet (±0,02 mm tolerans)

• Ytjämnhetstestning (Ra < 0,2 μm)

• Omfattande visuell inspektion

• Slutstädning och förpackning i renrum av klass 100

Applikationer

Båtarna används för närvarande till:

• Diffusionsprocesser

• Glödgningsbehandlingar

• Oxidationsprocesser

• CVD-applikationer

Framtida utveckling

Med utgångspunkt i denna framgång utvecklar Shenyang Starlight nu:

• 12-tumsversion för nästa generations waferstorlekar

• Anpassade designer för specifika processkrav

• Avancerade beläggningar för specialiserade tillämpningar

Företagsåtagande

Som ett företag med tre decenniers expertis inom keramik är vi fortsatt engagerade i att tänja på gränserna för halvledarmaterialteknik, tillade Dr. Li. Denna produktlansering visar vår förmåga att utveckla lösningar som uppfyller branschens mest krävande krav.