Shenyang Starlight Advanced Ceramics: Ett 30-årigt arv som banbrytande övergång för kiselkarbid till halvledarfronter

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., en pionjär inom tillverkning av kiselkarbid med tre decenniers expertis, går strategiskt över från traditionell tillverkning av ugnsmöbler till lösningar av halvledarkvalitet. Genom att utnyttja sin djupt rotade tekniska skicklighet och globala leveranskedjekapacitet är företaget redo att omdefiniera precision.kiselkarbidkomponenter för nästa generations chiptillverkning.

Från ugn till flis: En strategisk utveckling

Shenyang Starlight grundades 1995 som ett kinesisk-tyskt joint venture och fokuserade initialt på komponenter till industriella ugnar. Företaget blev erkänt som ett nationellt högteknologiskt företag och exporterade produkter till över 20 länder. Med halvledarföretagetkiselkarbidmarknaden förväntas överstiga 10 miljarder dollar år 2028, började företaget diversifiera 2019 genom att etablera sin division för avancerade material, med inriktning på hög renhet.kiselkarbidstrukturella delar för halvledarutrustning.

”Vårt skifte ligger i linje med Kinas strävan efter självförsörjning av halvledare”, sa VD Xing.kiselkarbidDess termiska stabilitet och renhet gör den oumbärlig för etsning, deponering och waferhanteringssystem.”

Teknologiska genombrott som driver övergången

1. Innovation inom material med ultrahög renhet

Företaget producerar nu 4N+ (99,99 %) renhetkiselkarbidpulver genom proprietära raffineringsprocesser, vilket eliminerar metalliska föroreningar som är avgörande för kontamineringskänsliga halvledarprocesser.

Flerstegssintring (reaktionsbunden, omkristalliserad och varmpressad) säkerställer en densitet på 3,1 g/cm³, vilket uppfyller ASML- och TEL-specifikationerna för vakuumkompatibilitet.

2. Precisionstillverkningskapacitet

Avancerade formningstekniker, inklusive isostatisk pressning och 3D-utskrift, möjliggör komplexa geometrier som waferhanteringsrobotar och CVD-kammarfoder med en tolerans på ±0,01 mm.

Egenutvecklad laserassisterad bearbetning minskar skador på underytan med 60 % jämfört med konventionell slipning, vilket är avgörande för ytjämnhet på <1 nm i litografiske steg.

3. Branschövergripande synergier

Med stöd av årtionden inom forskning och utveckling av ugnskomponenter anpassade företaget termostötsbeständiga konstruktioner (ursprungligen för keramisk sintring vid 1 600 °C) till halvledarsystem för snabb termisk bearbetning (RTP), vilket uppnådde 30 % längre livslängd än kvartsalternativ.

Halvledarproduktportfölj

Waferbärare: Omkristalliseradekiselkarbidbrickor för högtemperaturdiffusionsugnar, vilket minskar partikelgenereringen med 50 % jämfört med aluminiumoxid.

Vakuumchuckar: Låg gasavgivningkiselkarbidElektrostatiska chuckar med inbäddade kylkanaler för EUV-litografisystem.

Plasmaresistenta komponenter: NitridbundnakiselkarbidSköldar för etsverktyg, validerade i över 500 timmars korrosiva plasmatester.

Samarbetsinriktat ekosystembyggande

1. Akademiska partnerskap: Samutveckling av kvantprickförstärktakiselkarbidbeläggningar med Shenyang University för att minimera waferfastklibbning i högvakuummiljöer.

2. Branschallianser: Gick med i Liaoning Semiconductor Materials Consortium 2024 och deladekiselkarbidbearbetningsstandarder med SMIC och Naura.

3. Global certifiering: Erhöll SEMI S2-efterlevnad under andra kvartalet 2025, vilket banar väg för Tier 1-gjuterigodkännanden.

Utmaningar och framtida färdplan

Medan traditionella ugnsprodukter fortfarande bidrar med 65 % av intäkterna, siktar halvledardivisionen på 40 % tillväxt årligen genom:

Kapacitetsutökning: Fördubbling av isostatiska presslinjer senast tredje kvartalet 2026 för att möta efterfrågan på 8-tums waferverktyg.

AI-driven kvalitetskontroll: Implementering av maskinseende för realtidsdetektering av fel under CNC-bearbetning.

Cirkulär ekonomi: Återvinning av 95 % av malningsslammet via patenterade filtreringssystem, i linje med ESG-mål.

”Vår 30-åriga resa speglar Kinas tillverkningsutveckling”, konstaterade teknisk chef Zhang Wei. ”Från ugnshyllor till flisfabriker skriver vikiselkarbids nästa kapitel – ett atomlager i taget.”