Hög renhet omkristalliserad kiselkarbid ugnsrör, fribärande paddel

2025-04-07 13:37

Shenyang Starlight: banbrytande kiselkarbidlösningar för halvledartiden

I över tre decennier har Shenyang StarLight Advanced Ceramics Co., Ltd. stått i spetsen för innovation av kiselkarbidmaterial. När halvledarindustrin i allt högre grad använder kiselkarbid för sin exceptionella värmeledningsförmåga, mekaniska styrka och kemiska stabilitet, utnyttjar StarLight sin expertis för att skapa strategiska samarbeten med CVD (Chemical Vapor Deposition) beläggningsspecialister. Denna synergi syftar till att leverera banbrytande kiselkarbidkomponenter som uppfyller de stränga kraven för avancerad halvledartillverkning.

Arvet möter modern efterfrågan
StarLight, som grundades i början av 1990-talet, har finslipat sin förmåga att producera strukturella delar av kiselkarbid med hög renhet, inklusive kritiska komponenter som ugnsrör och fribärande paddlar. Dessa delar är oumbärliga i halvledartillverkning, där extrema temperaturer, korrosiva miljöer och ultrarena processer är rutin. Traditionella material som kvarts eller metaller kommer ofta till korta under sådana förhållanden, medan kiselkarbids unika egenskaper – inklusive en smältpunkt som överstiger 2 700 °C och motståndskraft mot termisk chock – positionerar den som en idealisk kandidat för nästa generations utrustning.

silicon carbide

Collaborative Innovation: CVD Advantage
Medankiselkarbid's inneboende egenskaper är anmärkningsvärda, ytteknik genom CVD-beläggning frigör ytterligare potential. StarLights strategi innebär att leverera exakt utformadkiselkarbid"blanks" eller gröna kroppar till CVD-partners, som applicerar specialiserade beläggningar – såsom hög renhetkiselkarbideller skräddarsydda keramiska lager – för att förbättra ythårdheten, minska partikelgenereringen eller förbättra motståndskraften mot plasmaerosion. Till exempel ugnsrör belagda med ultratät CVD-kiselkarbiduppvisar förlängd livslängd i epitaxiella reaktorer, vilket minimerar stilleståndstiden i flisproduktionen.

Denna arbetsfördelning drar nytta av varje parts styrkor: StarLights behärskning i nästan-nät-formkiselkarbidsintring säkerställer dimensionell noggrannhet och strukturell integritet, medan CVD-specialister optimerar ytegenskaper på atomnivå. De slutliga produkterna genomgår rigorösa tester för renhet (ofta överstiger 99,9995%), termisk prestanda och defektdensitet innan de når kunder som OEM-tillverkare av halvledarutrustning eller wafergjuterier.

Driving Industry 4.0 inom halvledartillverkning
Det globala skiftet mot halvledare med breda bandgap och mindre processnoder (under 3nm) har intensifierat behovet av hållbara, kontamineringsfria processkammare. StarLights komponenter, post-CVD-förfining, adresserar smärtpunkter som partikelavfall i högvakuummiljöer och nedbrytning i klorbaserade etsningsprocesser. En nyligen genomförd fallstudie avslöjade att CVD-belagda StarLight fribärande paddlar minskade partikelantalet med 40 % i en ledande logisk chiptillverkares oxidationsugn, vilket direkt förbättrade utbytet.

silicon carbide

Hållbarhet genom materialvetenskap
Utöver prestanda stödjer denna samarbetsmodell hållbarhet. Silikonkarbidkomponenter håller upp till 10 gånger längre än traditionella alternativ, vilket minskar utbytesfrekvensen och e-avfall. StarLights energieffektiva sintringstekniker överensstämmer dessutom med halvledarsektorns ambitioner om noll.

Ser framåt
När användningen av kiselkarbid accelererar inom EUV-litografi, termisk halvledarhantering och kvantberäkningsinfrastruktur, är StarLight redo att utöka sina CVD-partnerskap. Genom att slå samman årtionden av keramisk ingenjörsskicklighet med avancerad beläggningsteknik håller företaget inte bara jämna steg med halvledarrevolutionen – det hjälper till att definiera den. I en bransch där materialbegränsningar ofta hindrar framsteg, exemplifierar StarLights samarbetsstrategi hur specialisering och delad expertis kan driva tekniska språng.

I huvudsak är Shenyang Starlight Advanced Ceramics inte bara en leverantör; det är en möjliggörare av kisel-till-kisel-karbid-övergången som omformar global halvledartillverkning.



Få det senaste priset? Vi svarar så snart som möjligt (inom 12 timmar)
  • This field is required
  • This field is required
  • Required and valid email address
  • This field is required
  • This field is required