Shenyang Starlight Advanced Ceramics når genombrott inom tillverkning av halvledarkvartsbåtar

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., en ledande tillverkare av kiselkarbidprodukter med över 30 års branscherfarenhet, har framgångsrikt utvecklat och levererat en högpresterande kvartsbåtsserie för bearbetning av halvledarskivor. Denna milstolpe understryker företagets förmåga att möta de stränga kraven inom avancerad halvledartillverkning.

Innovation inom kvartsbåtsteknik

Efter åratal av rigorös forskning och utveckling samt tester har Shenyang Starlight fulländat sin kvartsbåtsserie, speciellt utformad för värmebehandling av wafers vid halvledartillverkning. Viktiga funktioner inkluderar:

Kiselkarbidmaterial med ultrahög renhet, vilket säkerställer minimal kontaminering under högtemperaturprocesser.

Exceptionell termisk stabilitet, kapabel att motstå snabba termiska cykler upp till 1 200 °C.

Precisionstillverkad strukturell integritet, vilket förhindrar waferdeformation eller skador under bearbetning.

Dessa kiselkarbidkvartsbåtar är avgörande för waferglödgning, diffusion och oxidationsprocesser, där materialets renhet och termiska prestanda är av största vikt.

Möta halvledarindustrins krav

Halvledartillverkare kräver konsekventa, kontamineringsfria hanteringslösningar för ömtåliga kiselskivor. Shenyang Starlights kiselkarbidkvartsbåtar tillgodoser dessa behov genom att erbjuda:

• Överlägsen kemisk resistens mot korrosiva gaser som används vid deponering och etsning.

• Optimerad design för jämn värmefördelning, vilket minskar waferspänningen.

• Lång livslängd, vilket sänker den totala ägandekostnaden för halvledarfabriker.

"Vår serie kiselkarbidkvartsbåtar representerar åratal av förfining av materialvetenskap", säger en talesperson för företaget. "Vi har kombinerat högren kvarts och kiselkarbid med precisionstillverkning för att leverera en produkt som uppfyller de stränga standarderna för halvledarproduktion."

FoU och kvalitetssäkring

Shenyang Starlights framgång härrör från dess:

Dedikerat FoU-team som samarbetar med ledande akademiska institutioner.

Avancerade testprotokoll, inklusive termisk chockbeständighet och partikelemissionsanalys.

ISO 9001-certifierad produktion, vilket säkerställer enhetlighet från batch till batch.

Företagets kvartsbåtar har genomgått omfattande kvalificeringstester i samarbete med tillverkare av halvledarutrustning, vilket bekräftar kiselkarbidprodukternas tillförlitlighet i verkliga tillämpningar.

Tillämpningar inom wafertillverkning

Kvartsbåtserien används nu för:

• Front-end waferbearbetning (t.ex. oxidation, dopning).

• Bakglödgning för avancerad förpackning.

• Tillverkning av fotovoltaiska celler, där högtemperaturstabilitet är avgörande.

Framtida utveckling

Med utgångspunkt i denna framgång utökar Shenyang Starlight sin portfölj av halvledarkeramik, med pågående projekt inom:

• Kiselkarbidbelagda kvartskomponenter för ökad hållbarhet.

• Anpassade båtdesigner för nästa generations waferstorlekar.

• Material med låg partikelemission för kompatibilitet med EUV-litografi.

Engagemang för halvledarkvalitet

Halvledartillverkning utvecklas snabbt, och vi strävar efter att tillhandahålla banbrytande keramiska lösningar som möjliggör våra kunders framgång, tillade talespersonen.