Shenyang Starlight Advanced Ceramics når milstolpe inom halvledartillverkning med precisionsfoderrör med 451 mm ytterdiameter för 12-tums waferbearbetning

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., en pionjär inom tillverkning av kiselkarbid med över tre decenniers expertis, har nyligen uppnått ett betydande genombrott genom att framgångsrikt leverera specialiserade linerrör med 451 mm ytterdiameter (OD) för tillverkningsprocesser för 12-tums halvledarskivor. Denna prestation understryker företagets ledarskap inom utveckling av kritiska keramiska komponenter för den globala halvledarindustrin. De nyutvecklade linerrören, speciellt utformade för högtemperatur-waferbearbetningsapplikationer, har en optimerad flänsytterdiameter på 451 mm, konstruerad för att uppfylla de stränga kraven för avancerad halvledartillverkningsutrustning. Genom att använda kiselkarbid med ultrahög renhet (≥99,999 %) med exceptionell termisk stabilitet (driftsområde: omgivningstemperatur till 1 450 °C),...foderrör Komponenterna säkerställer minimal värmeutvidgning (koefficient 4,0×10⁻⁶/K) och överlägsen motståndskraft mot korrosiva processgaser, vilket möjliggör konsekvent prestanda i oxidations-, diffusions- och kemisk ångdeponeringsprocesser (CVD). Foderrörens precisionskonstruktion garanterar dimensionstoleranser inom ±0,05 mm och ytjämnheter under Ra 0,1 μm, vilket är avgörande för att bibehålla waferintegriteten och minska risken för partikelkontaminering i renrumsmiljöer.

De foderrörUtvecklingsprocessen innebar 18 månaders rigoröst forsknings- och utvecklingssamarbete med ledande halvledartillverkare, inklusive avancerad finita elementanalys (FEA) för att optimera gasflödesdynamiken och termisk likformighet över den 300 mm innerdiametern. Över 500 termiska cyklingstester valideradefoderrörhållbarhet vid snabba temperaturfluktuationer, medan patentskyddade sintringstekniker säkerställdefoderrör strukturell integritet vid extrema temperaturer. Produktionen sker i renrum av ISO klass 5, där varje enhet genomgår omfattande foderrörkvalitetskontroller, inklusive heliumläckagetestning, restgasanalys (RGA) och metrologisk validering med laserskannrar och koordinatmätmaskiner (CMM). Tidiga användare av avancerad logik- och minneschipproduktion har rapporterat en 35 % minskning av ugnsdriftstopp och en 20 % förbättring av waferutbytet jämfört med traditionella kvartsliners, vilket tillskrivs materialets inneboende kemiska inertitet och minskade underhållskrav.

Detta foderrörInnovationen tillgodoser halvledarindustrins ökande efterfrågan på större waferstorlekar och högre processkonsistens, särskilt i takt med att tillverkare övergår till noder under 5 nm. Designen med en ytterdiameter på 451 mm möjliggör sömlös integration med nästa generations vertikala ugnar, medan materialets ultralåga nivåer av metalliska föroreningar (<0,1 ppb) förhindrar kontaminering av dopämnen i känsliga processer. Utöver nuvarande tillämpningar utvecklar Shenyang Starlight aktivt smartafoderrörprototyper med inbyggda sensorer för realtidstemperaturövervakning och adaptiva värmehanteringssystem kompatibla med Industri 4.0-tillverkningsekosystem.

Med en historia som sträcker sig över 30 år och över 2 000 framgångsrika kundsamarbeten fortsätter Shenyang Starlight att driva innovation inom högpresterande keramik och kombinera materialvetenskaplig excellens med precisionsteknik för att lösa halvledarindustrins mest komplexa utmaningar.